●2023年(令和5年)5月26日(金)第14回 日本電磁波エネルギー応用学会講演会- マイクロ波によるCVD技術 人工ダイヤモンドの展望-
【学会からのお知らせ】
講師演題が揃いました。
【日時】 2023年5月26日（金） 13：50～16：30
【会場】
オンライン講演会会場(Zoom Meeting利用)
(参加登録者に、接続テスト用、本番用Zoom接続情報、講演会要旨集ダウンロード必要情報を案内。最終申し込み締め切り5/25(木）
【開催趣旨】
【協賛団体】
(協 賛 決 定） 公益社団法人日本化学会
(協賛申請中）公益社団法人応用物理学会
(協賛申請予定）IEEE MTT-S Japan/Kansai/Nagoya Chapter
【プログラムおよび講演趣旨】
（3/14 版）講師敬称略
12:30～13:00 総会参加者のZoom入室時間
13:00～13:30
「特定非営利活動法人日本電磁波エネルギー応用学会 令和4年度定期総会」
(会員対象行事につき、非会員の方は総会終了時まで接続できません。)
13:30～13:50 講演会からの参加者Zoom入室時間
【前半座長：佐藤 進(埼玉工業大学)】
13:50～14:35
「マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成」
“Preparation of diamond using microwave plasma CVD”
講師１ 坂本幸弘 (千葉工業大学)
講演要旨:マイクロ波プラズマC V Dによるダイヤモンド合成における反応ガスの影響および各種
C V Dによるボロンドープダイヤモンド合成とマイクロ波プラズマC V Dにおける電気抵抗の制御について紹介する。
14:35～14:45 休憩
【後半座長：坂本 幸弘（千葉工業大学）】
14:45～15:15
”Cultivating MPCVD Diamond by an Innovative Structure Design with Power Combination of Two Microwave Sources”
講師2 Bob, H. Y. Chen General Manager（Wave Power Technology Inc.）
＊英語―通訳なし
High power microwave has recently been used in cultivating artificial MPCVD diamond, either using a single solid state source or a magnetron source. As higher microwave power is needed, less choice of microwave source is limited by off-the-shelf availability from suppliers if not taking into account the factor of a higher cost. Another inherent drawback with microwave application is the inevitable non-uniformity associated with those parasitic cold spots and hot spots of cavity type applicator. We propose an innovative structure design with power combination of two microwave sources to provide a solution for foregoing ever-present limits in cultivating MPCVD diamond. A higher total microwave power could be fed into process chamber which resides a large area of more uniform microwave distribution. Plasma could be ignited over a large area and stably exists at a vertical position far away from the surface of a typically used quartz window disk. Therefore, it could significantly prevent the quartz window disk from being damaged by unstable plasma in case when MPCVD process is going on.
15:15～15:40
「半導体デバイス用単結晶ダイヤモンド合成装置（仮演題)」
“Single-crystal diamond synthesis system for semiconductor devices(Tentative)”
講師3 小島 芳恭（アリオス株式会社）
講演要旨:後日掲載
15:40～16:05
「マイクロ波インピーダンス測定法による非接触プラズマリアルタイムモニタリング」
“Real-time non-contact plasma monitoring by microwave impedance measurement. ”
講師4 草場 康太（日本高周波株式会社）
講演要旨:本講演では、マイクロ波プラズマプロセスにおけるリアルタイム非接触プラズマモニタの手法の一つとして、マイク
ロ波供給導波路から見た負荷インピーダンス測定によるプラズマモニタリングについて、その有用性と欠点を議論する。
16:05～16:30
「世界で１つのオリジナルダイヤモンド」
“Custom – made diamond, only one in the world”
講師5 曳地 智/今宮麻衣（株式会社ココディアジャパン）
講演要旨:弊社は、「世界で１つのオリジナルダイヤモンド」をオーダーメイドで作製するために、ペットヘアーといった固体
炭素源からダイヤモンドを合成している。本講演では、このコンセプトと作製法を紹介する。
【懇親会】開催予定はありません。
【参加費用（資料代含む）】－すべて税込み、領収書発行
JEMEA会員・協賛団体会員（前期（4/28(金)迄申込))
5,000円
JEMEA会員・協賛団体会員（後期(4/29-5/25迄申込))
7,000円
非会員（学生を除く）
10,000円
学生(JEMEA会員・協賛団体・非会員）
2,500円
懇親会は開催予定ありません
※JEMEA正会員（団体）は加入口数×3名まで会員価格適応となります。
※参加費は前期登録4/28(金)、後期5/25(木)までの振込みが原則です。ご入金確認者に接続情報のご連絡をさせていただきます。講演会終了後、領収書をメール添付ご送付・ご希望によりご郵送いたします。
請求書を発行しての「振込」での支払いも対応いたします。希望の場合は参加申込時に記載下さい。振込後のキャンセルの場合は、返金はいたしかねますが、テキストのダウンロード用の情報をご案内いたします。請求書払いの方の振込期限は職場事情で個別相談にのります。
※JEMEA会員は参加費との合算で、年会費の支払い（振込）が可能です。申し込み画面経由で事前にご連絡下さい。
JEMEAの年会費は2023年度分
正会員（個人）7,000円、学生会員 3,000円、正会員（団体）1口40,000円となっております。
正会員（団体）の方は、総会・講演会ご欠席の場合は、総会後に請求書（捺印済み）をご郵送。正会員（個人）・学生会員の方は、メールにてご案内いたします。
※非会員の方は参加申込時に入会手続きを頂きますと、会員価格での参加が可能です。詳しくは事務局にお問い合わせ、または次のサイトを確認ください。
【ご入会案内】
【ご入会申し込み先】
【参加申し込み】
(先着順受付 定員(オンライン参加100名) 申込（参加費振込）締切り： 前期4月28日（金）後期登録４月29日-5月25日（木）―最終申し込み締め切り日)
【参加申込先】
参加費振込先は、参加登録後、自動返信されるメールに記載があります。請求書発行必要のある方は参加登録画面の該当項目に✔ください。請求書発行の場合は、振込期限は個別相談をさせていただきます。
主催 日本電磁波エネルギー応用学会（JEMEA）
連絡先 当学会事務局 佐藤
E-mail：office@jemea.org
Tel &Fax ：03(3414)4554
講演会当日連絡先：090(2739)8621
[ver.20230218]
（3/14 版）講師敬称略
12:30～13:00 総会参加者のZoom入室時間
13:00～13:30
「特定非営利活動法人日本電磁波エネルギー応用学会 令和4年度定期総会」
(会員対象行事につき、非会員の方は総会終了時まで接続できません。)
13:30～13:50 講演会からの参加者Zoom入室時間
【前半座長：佐藤 進(埼玉工業大学)】
13:50～14:35
「マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成」
“Preparation of diamond using microwave plasma CVD”
講師１ 坂本幸弘 (千葉工業大学)
講演要旨:マイクロ波プラズマC V Dによるダイヤモンド合成における反応ガスの影響および各種
C V Dによるボロンドープダイヤモンド合成とマイクロ波プラズマC V Dにおける電気抵抗の制御について紹介する。
14:35～14:45 休憩
【後半座長：坂本 幸弘（千葉工業大学）】
14:45～15:15
”Cultivating MPCVD Diamond by an Innovative Structure Design with Power Combination of Two Microwave Sources”
講師2 Bob, H. Y. Chen General Manager（Wave Power Technology Inc.）
＊英語―通訳なし
High power microwave has recently been used in cultivating artificial MPCVD diamond, either using a single solid state source or a magnetron source. As higher microwave power is needed, less choice of microwave source is limited by off-the-shelf availability from suppliers if not taking into account the factor of a higher cost. Another inherent drawback with microwave application is the inevitable non-uniformity associated with those parasitic cold spots and hot spots of cavity type applicator. We propose an innovative structure design with power combination of two microwave sources to provide a solution for foregoing ever-present limits in cultivating MPCVD diamond. A higher total microwave power could be fed into process chamber which resides a large area of more uniform microwave distribution. Plasma could be ignited over a large area and stably exists at a vertical position far away from the surface of a typically used quartz window disk. Therefore, it could significantly prevent the quartz window disk from being damaged by unstable plasma in case when MPCVD process is going on.
15:15～15:40
「半導体デバイス用単結晶ダイヤモンド合成装置（仮演題)」
“Single-crystal diamond synthesis system for semiconductor devices(Tentative)”
講師3 小島 芳恭（アリオス株式会社）
講演要旨:後日掲載
15:40～16:05
「マイクロ波インピーダンス測定法による非接触プラズマリアルタイムモニタリング」
“Real-time non-contact plasma monitoring by microwave impedance measurement. ”
講師4 草場 康太（日本高周波株式会社）
講演要旨:本講演では、マイクロ波プラズマプロセスにおけるリアルタイム非接触プラズマモニタの手法の一つとして、マイク
ロ波供給導波路から見た負荷インピーダンス測定によるプラズマモニタリングについて、その有用性と欠点を議論する。
16:05～16:30
「世界で１つのオリジナルダイヤモンド」
“Custom – made diamond, only one in the world”
講師5 曳地 智/今宮麻衣（株式会社ココディアジャパン）
講演要旨:弊社は、「世界で１つのオリジナルダイヤモンド」をオーダーメイドで作製するために、ペットヘアーといった固体
炭素源からダイヤモンドを合成している。本講演では、このコンセプトと作製法を紹介する。
【懇親会】開催予定はありません。
【参加費用（資料代含む）】－すべて税込み、領収書発行
| JEMEA会員・協賛団体会員（前期（4/28(金)迄申込)) | 5,000円 |
| JEMEA会員・協賛団体会員（後期(4/29-5/25迄申込)) | 7,000円 |
| 非会員（学生を除く） | 10,000円 |
| 学生(JEMEA会員・協賛団体・非会員） | 2,500円 |
| 懇親会は開催予定ありません |
※JEMEA正会員（団体）は加入口数×3名まで会員価格適応となります。
※参加費は前期登録4/28(金)、後期5/25(木)までの振込みが原則です。ご入金確認者に接続情報のご連絡をさせていただきます。講演会終了後、領収書をメール添付ご送付・ご希望によりご郵送いたします。
請求書を発行しての「振込」での支払いも対応いたします。希望の場合は参加申込時に記載下さい。振込後のキャンセルの場合は、返金はいたしかねますが、テキストのダウンロード用の情報をご案内いたします。請求書払いの方の振込期限は職場事情で個別相談にのります。
※JEMEA会員は参加費との合算で、年会費の支払い（振込）が可能です。申し込み画面経由で事前にご連絡下さい。
JEMEAの年会費は2023年度分
正会員（個人）7,000円、学生会員 3,000円、正会員（団体）1口40,000円となっております。
正会員（団体）の方は、総会・講演会ご欠席の場合は、総会後に請求書（捺印済み）をご郵送。正会員（個人）・学生会員の方は、メールにてご案内いたします。
※非会員の方は参加申込時に入会手続きを頂きますと、会員価格での参加が可能です。詳しくは事務局にお問い合わせ、または次のサイトを確認ください。
【ご入会案内】
【ご入会申し込み先】
【参加申し込み】
(先着順受付 定員(オンライン参加100名) 申込（参加費振込）締切り： 前期4月28日（金）後期登録４月29日-5月25日（木）―最終申し込み締め切り日)
【参加申込先】
参加費振込先は、参加登録後、自動返信されるメールに記載があります。請求書発行必要のある方は参加登録画面の該当項目に✔ください。請求書発行の場合は、振込期限は個別相談をさせていただきます。
主催 日本電磁波エネルギー応用学会（JEMEA）
連絡先 当学会事務局 佐藤
E-mail：office@jemea.org
Tel &Fax ：03(3414)4554
講演会当日連絡先：090(2739)8621
[ver.20230218]